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微机电系统（MEMS）技术 车规级MEMS半导体气体传感器技术规范

金刚石多晶片

激光和激光相关设备. 气管轴和气管管套耐激光性的测定

光学和光子学－激光器及激光相关设备－激光束功率 (能量) 密度分布测试方法 (ISO 13694:2018)

光学与光子学 激光和激光相关设备 词汇和符号（ISO 11145:2018）

激光器和激光器相关设备.激光感应损伤阈值的试验方法.第2部分:阈值测定(ISO 21254-2-2011)

集成光学. 词汇. 第2部分: 分类用术语

光学和光子学.激光和激光相关设备.高反射率和高透射率测量用腔衰荡法

集成光学. 接口. 有关耦合特性的参数

集成光学词汇第1部分:光波导基本术语和符号

激光和激光相关设备. 激光束宽度、发散角和束扩散率的试验方法. 第1部分: 无象散和简单象散束

汽车底盘控制芯片技术要求及试验方法

电光晶体

微机电系统（MEMS）技术 MEMS电容式麦克风性能试验方法

微机电系统（MEMS）技术 硅通孔三维结构可靠性评价要求

声光晶体

射频电源自适应阻抗匹配器技术要求

半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法

半导体器件 微电子机械器件 第3部分：拉伸试验用薄膜标准试验片

激光器和激光相关设备 角分辨散射的测试方法